通过结束带装置和导管附着可以简单地安装。  在易谈的价格下装置,可为设备改善时的成本降低作出贡献。  厚10mm的薄形管。由于可以密封安装，所以可以检测出Z小4mm的位差。  即使在可然性气体中也可使用。

采用了耐药品、耐油性都很优秀的特氟龙(PFA) ? 能够民晶圆片洗净槽的硫酸等高温液体的检测相对应。(-40 ~ +200℃) ? 实现了0.5mm的高重复精度。 ? 采用了防止液体的结构。

仿晶园片也能稳定检测 增加了示教功能 防止静电产生的误差

不易受到玻璃端面处理状态的影响。 ? 即使玻璃基板在盒内动荡也无影响，可稳定地检测出。

安全性能胜过激光型，且降低了成本。 ? 使用了可清楚辨明光点位置的红色点光源LED。 光点直径：φ1.2mm(检测距离：120mm、代表例)使用turbo功能更加鲜明。 ? 使用耐曲折导线可放心地安置于可动部，也可弯曲。 ? 0.1ms超高速应答。